聲掃顯微鏡的分辨極限大約是0.2微米，相當于放大倍數1500~2000倍；要想實現更大的放大倍數，就得使用電子顯微鏡或者隧道掃描顯微鏡。
一般地，固定波長的聲掃顯微鏡分辨極限，是光線波長的一半，可見光波長400~760nm之間，所以光學顯微鏡的分辨極限就是200nm（0.2微米）。小于0.2微米的物體，光學顯微鏡將無法分辨，就好比人手的觸感分辨率，不能超過觸感細胞之間的小距離一樣。
聲掃顯微鏡放大倍數是物鏡的放大倍數與目鏡的放大倍數的乘積，如物鏡為10×，目鏡為10×，其放大倍數就為10×10=100。聲掃顯微鏡目鏡長度與放大倍數呈負相關，物鏡長度與放大倍數呈正相關。即目鏡長度越長，放大倍數越低；物鏡長度越長，放大倍數越高。
電子聲掃顯微鏡是根據電子光學原理，用電子束和電子透鏡代替光束和光學透鏡，使物質的細微結構在非常高的放大倍數下成像的儀器。
聲掃顯微鏡一般具有三個接物鏡，即低倍、高倍及油鏡，固定于接物鏡轉換盤孔中。觀察標本時，先使用低倍接物鏡，此時，視野較大，標本較易查出，但放大倍數較小（一般放大100倍），較小的物體不易觀察其結構。高倍接物鏡放大的倍數較大（一般放大400倍），能觀察微小的物體或結構。
低倍、高倍、油鏡頭的識別：
1、標明放大倍數10×，40×，100×，或10/0.25，40/0.65，100/1.25。
2、低倍鏡短，高倍鏡較長，油鏡長。
3、鏡頭前面的鏡孔低倍鏡大，高倍鏡較大，油鏡小。
4、油鏡頭上常刻有黑色環圈，或“油”字。
體視聲掃顯微鏡的使用的工作距離為100mm，在方形鏡身兩側有手輪可旋轉，利用它的轉動可在不變更工作距離情況下更換聲掃顯微鏡放大倍數。聲掃顯微鏡總放大倍數的讀數，在使用25×接目鏡時，以右側數盤上數字為準，而使用6.3×接目鏡時，則以左側數盤上的數字為準。
